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Dao, Thien HAI (2007) Dépôt de couches minces de silicium à grande vitesse par plasma MDECR. Doctorat PICM, PICM, EP/X p.0.
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Autres Localisations: http://www.imprimerie.polytechnique.fr/Theses/Files/Dao.pdf
| Type d'EPrint: | Thèse (Doctorat) |
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| Directeur de Thèse: | Drevillon, Bernard |
| Date: | 25 Mai 2007 |
| Ecole Doctorale: | ED 447 ECOLE DOCTORALE DE L'ECOLE POLYTECHNIQUE |
| Discipline: | PICM |
| Fonds: | EP/X |
| Institution: | EP/X |
| Laboratoire: | PICM |
| Sujets: | 3. Physique, optique |
| Code ID: | 3255 |
| Déposé par : | Laurence Vidament |
| Déposé le : | 09 Janvier 2008 |
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