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Levif, Pierre (2007) Excitation multifréquence dans les décharges capacitives utilisées pour la gravure en micro-électronique. Doctorat LPTP, LPTP, EP/X p.0.
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Autres Localisations: http://www.imprimerie.polytechnique.fr/Theses/Files/Levif.pdf
| Type d'EPrint: | Thèse (Doctorat) |
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| Directeur de Thèse: | Chabert, Pascal |
| Date: | 08 Novembre 2007 |
| Ecole Doctorale: | ED 447 ECOLE DOCTORALE DE L'ECOLE POLYTECHNIQUE |
| Discipline: | LPTP |
| Fonds: | EP/X |
| Institution: | EP/X |
| Laboratoire: | LPTP |
| Sujets: | 3. Physique, optique |
| Code ID: | 3567 |
| Déposé par : | Laurence Vidament |
| Déposé le : | 25 Mars 2008 |
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